魔爪文学

手机浏览器扫描二维码访问

第286章 冰城机械心（第2页）

主路宽阔笔直，两旁是高大的榆树和杨树，枝干上积着雪。

一栋栋红砖教学楼整齐排列，多是三四层的苏式建筑，坡屋顶，高大的窗户，外墙简洁实用。

虽然是冬季，但校园里并不冷清。

穿着蓝色棉制服的学生们抱着书本匆匆走过，有的提着暖水瓶，有的背着帆布书包。

自行车在清扫过的路面上行驶，车把上挂着棉手套。

远处操场上，一群学生在打雪仗，欢笑声阵阵传来。

“这边是机械楼。”小刘指着路边一栋四层楼房，“包教授他们在二楼会议室等你们。”

机械楼的门厅很宽敞，水磨石地面光洁如镜。

墙上贴着大幅标语：“又红又专，为祖国工业化奋斗！”“向科学进军，攻克技术难关！”

楼梯是水泥的，扶手刷着深绿色的油漆。

二楼走廊里，两侧是一间间实验室和教研室。

透过门上的玻璃窗，能看到里面摆满了图纸、模型和各种机床设备。

走廊尽头的会议室门开着，里面已经坐了七八个人。

见宋颜三人进来，一个五十岁上下、面容坚毅的男人立即起身迎了上来。

“宋教授！一路辛苦了！”他伸出手，握手有力，“我是包康建，负责‘星河计划’机械组。”

小主，这个章节后面还有哦，请点击下一页继续阅读，后面更精彩！

“包教授，久仰！”宋颜握手，又介绍吕辰和谢凯，“这是吕辰同志、谢凯同志。”

包康建打量了吕辰一眼，眼中闪过一丝惊讶，但很快恢复如常：“吕辰同志，年轻有为啊！”

“包教授过奖了。”吕辰谦虚道。

包康建又介绍了在座的其他人：精密机械教研室的王副教授、机械设计教研室的李老师、液压传动教研室的孙老师、还有几位年轻助教和研究生，都是机械领域的骨干力量。

会议室不大，摆着一张长条会议桌和十几把木椅。

墙上挂着毛主席像和“自力更生，艰苦奋斗”的标语。

桌上放着几个搪瓷茶杯，暖水瓶冒着热气。

“坐，坐！”包康建招呼大家坐下，“一路辛苦了，先喝口热水暖和暖和。”

宋颜喝了一口水，直接切入正题：“包教授，我们这次来，主要是通报‘星河计划’各组的进展，特别是长光所光刻组和半导体所材料组的情况，同时提交一份技术清单，需要哈工大在精密机械方面提供支持。”

他从公文包里取出几份文件，一份递给包康建，其余分给在座的其他人。

“这是长光所最新的光刻测试报告。”宋颜翻开文件，“目前他们在实验室环境下，已经能在玻璃基板上稳定实现五微米线宽的图形曝光。但问题很多：边缘粗糙、宽度不均匀、套刻误差大……”

他详细介绍了光刻机面临的技术瓶颈：光源不稳定、物镜像差、工作台定位精度不够、温度变化导致热胀冷缩、振动干扰……

“长光所那边认为，”宋颜继续说，“机械部分是当前最大的短板之一。工作台的重复定位精度、运动平稳性、抗振动能力，直接决定了光刻图形的精度和成品率。”

包康建认真翻阅着报告，眉头微皱。

吕辰接着补充：“半导体所那边，高纯度单晶硅的区域熔炼技术也有进展，目前能稳定提供n纯度的硅材料。但大直径硅锭的成功率不到百分之十。问题主要在热场不均匀、熔体对流不稳定。这需要精密的热场设计和温度控制，本质上也是机械和传热问题。”

谢凯拿出了另一份文件：“这是我们根据在长光所的讨论，整理出的机械部分关键技术清单。”

包康建接过清单，仔细阅读。

清单上列着十几个具体问题，每个问题都附有简要的技术描述和期望目标。

工作台运动精度与稳定性：如何实现微米级的定位精度和重复定位精度？如何克服±°c环境温度波动导致的材料热胀冷缩？如何隔离地面振动和机器自身振动？

闭环反馈控制：是否可能引入气浮平台减少摩擦？能否开基于激光干涉仪的位移测量与反馈系统？控制响应频率需要达到多少赫兹？

其他的诸如套刻对准系统、精密传动机构、热管理与温度控制、振动隔离、材料与结构、长期稳定性等

每一个问题都直指精密机械的核心难点。

会议室里安静下来，只有纸张翻动的沙沙声和暖气管片的嗡鸣。

哈工大的几位老师传阅着清单，表情越来越严肃。

请关闭浏览器阅读模式后查看本章节，否则将出现无法翻页或章节内容丢失等现象。