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林振抬起右手,用拇指和食指比出一个距离。
“我们能在这样一块硅片上,刻下两千个晶体管和复杂线路。水冷板上的微流道再复杂,和芯片电路相比,也只是一幅放大了无数倍的图。”
“既然光能把电路图转移到硅片上,自然也能把流道图转移到铜板上。”
王所长的呼吸停了半拍。
他天天守着光刻机,却从未想过,这台国之重器还能离开晶圆生产线,用来解决机械加工难题。
卢子真反应更快,几步走到黑板前。
“你的意思是,先把水冷板流道缩绘成掩膜版,再给紫铜板涂光刻胶?”
“对。”
得到确认后,卢子真拿起另一支粉笔,顺着林振画出的流程往下补。
“随后把铜板送上光刻机,通过掩膜版曝光。被光照射的区域生化学变化,再用显影液洗掉,这样就能把流道图案完整转移到铜板表面。”
说到这里,他停下粉笔,转头看向那几位机械专家。
“图形的精度,由光刻机保证。无论流道怎么拐弯,光都不需要带着刀头钻进去。”
王厂长站在原地,嘴唇动了两下。
他终于听懂了。
困住机床厂老师傅的关键,在于刀具无法转弯。光刻机压根不走他们熟悉的加工路线,直接把整幅流道图一次投在铜板上。
那十几个让钻头无计可施的急弯,在光刻机面前只是一组掩膜图案。
“乖……”
王厂长拿起图纸,又抬头看看黑板。
“你这是拿造龙芯一号的国宝,来收拾一块铜板?”
“这是不是太欺负人了?”
会议室里终于有人笑出了声。
一名八级技师拍了几下桌沿,服气的说道“这回咱们机床厂输得不冤。人家的刀是光,别说拐十几个弯,画一百个圈也没人管得着。”
王所长却还盯着流程图。
“曝光只能留下图案,流道的深度从哪里来?”
“这就是第二步,蚀刻。”
林振在“蚀刻”二字下画了一道横线。
“显影完成后,铜板表面会留下两种区域。流道位置的紫铜暴露在外,其他区域仍由光刻胶覆盖。”
“接着把铜板放入专用蚀刻液。药液会腐蚀暴露出来的紫铜,受到光刻胶保护的部位保持原状。”
他在黑板上画出铜板蚀刻前后的截面。
“通过控制药液浓度、温度和浸泡时间,我们可以控制腐蚀深度。达到设计尺寸后,立刻取出铜板,用清水冲洗,再去掉剩余光刻胶。”
“这样,整条微流道就能一次成形。”
王厂长低头看着自己的双手。
他这双手握了二十多年车刀,闭着眼都能靠手感判断进刀量。此刻他才现,加工材料未必总要靠硬碰硬。
光负责画线,化学药液负责吃掉多余的铜。
机床啃不动的活,就这样被拆成了几道安静的工序。
“也就是说,”他慢抬起头,“不用轰响的机床,也不用刀具切下一点铜屑。把胶涂上,照一次光,再放进药水里,流道自己就出来了?”
“原理就是这样。”
林振点头。
“实际操作还需要解决边缘侧蚀、流道深度一致性和铜板表面洁净度。任何一项控制不好,都会影响冷却水的流量。”
“可这些问题都能测量,也能通过试验修正。”
王厂长摆正刚刚歪歪斜斜的图纸,仔细掸去灰尘。
“服了。”
“我老王今天算开了眼。咱们研究了半辈子怎么把刀磨得更快、更硬,你直接把刀扔了。”
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