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“把普通的沙子、石英,放进极度高温的熔炉里,通过化学还原法,提纯出纯度高达99.9999999%——九个九的电子级多晶硅!差一个小数点,做出来的东西就是废渣!”
“然后,用直拉法,把这多晶硅拉成一根完美的单晶硅棒!再用金刚石切割线,把这根棒子切成薄如蝉翼的硅片!这就是晶片的地基——晶圆!”
所有研究员一边疯狂记录,一边倒吸凉气。
九个九的纯度?这在材料学上简直是如同登天一般的苛刻要求!
但这仅仅只是地基,苏晨接下来的话,才是真正的摧毁他们的常识认知。
苏晨在晶圆上面画了一层膜。
“第二步,氧化与涂胶!在硅片表面生长一层二氧化硅绝缘层,然后,在上面均匀地涂抹一层对光极度敏感的化学物质——光刻胶!”
“重点来了!”
苏晨将手中的粉笔猛地捏断,转过身,犹如一尊来自未来的科技之神,看着林宇和陈远,抛出了那个在后世被誉为工业皇冠上唯一明珠的终极恐怖怪物!
“林宇,你刚才问,怎么把千万个电晶体刻上去?靠手工?靠雕刻刀?错!大错特错!”
“世界上没有任何一把刀,能在这几毫米的硅片上刻下几万条线!我们要用的刀,是——光!!!”
“光?!”全场惊呼,所有人都懵了,光怎么可能当刀用?
“这就是制造晶片的核心神器——【光刻机】!!!”
苏晨厉声怒吼,开始疯狂地拆解这个未来科技巨兽的技术壁垒。
“我们要把几万个电晶体的复杂电路图,先画在一块放大的玻璃掩膜版上!”
“然后!光刻机启动!一种波长极短、能量极高、极难获取的极紫外光源(EUV)!这种光不能在空气中传播,只能在绝对真空的环境下运行!”
“这束光,穿透那块画着电路图的掩膜版!然后经过一套世界上最复杂、最精密、由几十块特殊反光镜组成的‘光学透镜组’!”
“这套透镜组有多恐怖?我告诉你们!”
苏晨双眼赤红,比喻道,“如果你把这块透镜放大到我们整个地球那么大,它表面的高低起伏平整度,绝不能超过一根头发丝的粗细!!!只有这样,它才能把那张庞大的电路图,没有任何误差地缩小几万倍,精准地投射到涂了光刻胶的硅片上!”
“嘶——!!!”
整个测试室内,整齐划一地响起了一片疯狂倒吸冷气的声音!
把镜片放大到地球大小,起伏不超过一根头发丝?!这他娘的哪里是人类工业,这简直就是上帝在打磨工艺品啊!
苏晨的拆解还在继续,犹如惊涛骇浪般不断冲击着这些天才的神经。
“光投射到光刻胶上,发生化学反应。曝光后的区域溶解,没有曝光的区域保留!这样,微小的电路轮廓就印在了硅片上!”
“但这还没完!”
“接下来,是刻蚀与离子注入!
用极度腐蚀性的等离子气体,顺着这些轮廓,把下面没有保护的硅腐蚀掉,形成深深浅浅的沟槽!然后,用一台恐怖的粒子加速器,把硼离子或者磷离子,以极高的动能,犹如子弹一样精准地打进这些极微小的沟槽里,改变局部的导电性!”
“这种光刻、刻蚀、离子注入的过程,不能只做一次!”
苏晨在黑板上画出了一层一层的三维立体结构图。
“要反反覆复,在同一块硅片上,进行几十次甚至上百次这样的操作!一层叠一层,犹如在这块微小的硅片上,建造一座比平城还要复杂的立体交通城市!”
“而在整个制造过程中,承载着这块硅片的‘双工作枱’机械底座,必须在极短的时间内进行高速移动。它在移动时的对准精度,必须达到纳米级别!!!什么叫纳米?一根头发丝的几万分之一!”
“只要在这个几十天、上百道工序的制造过程中,有一颗肉眼看不见的灰尘落在硅片上,或者机械台产生了一丝微小的震动偏差!这块汇聚了几万人心血、价值连城的晶片,当场报废!!!”
“吧嗒……”
林宇手里握着的铅笔,重重地掉在了地上,笔尖摔得粉碎。
他呆滞地看着黑板,脸色惨白,浑身上下已经被冷汗彻底湿透,犹如刚从水里捞出来的一般。
不仅是林宇,陈远、李建国、张雪……这几十名万里挑一、心比天高的绝顶科研精英,此刻全都被苏晨描述的这套“晶片全套研发制造工艺”给彻底震撼到道心崩塌了!
寂静!死一般的寂静!
只能听到几十个人剧烈喘息的声音。
太恐怖了!太变态了!太绝望了!
这根本就不是用人类现有的工业体系能够触碰的领域!
光源、极致的光学透镜、纳米级的机械底座、真空环境、粒子加速器、超高纯度化学气体……这里面的随便一项技术,单独拎出来,都足以让一个超级大国举全国之力研究十年都未必能出成果!
而要把这些所有逼近人类物理极限的技术融合在这一台叫“光刻机”的怪物里,简直就是一件比登天、比上九天揽月还要荒谬十万倍的神话!
看着这群平日里不可一世的天才们此刻如丧考妣、脸色发白的样子,苏晨的心里也猛地咯噔了一下。
糟糕,用力过猛了!
他之所以把后世最顶尖的极紫外光刻机技术提前几十年抛出来,是想给他们指明一个终极方向,让他们知道什么叫真正的微电子巅峰。但看这架势,这降维打击的跨度实在太大,竟然差点把这群科研国宝的积极性给直接干碎了!
这要是把这帮大拿的斗志给打击没了,那太原工院可就真废了!
苏晨赶紧扔掉手里的半截粉笔,拍了拍手上的粉尘,放缓了语速,用一种温和且充满蛊惑力的声音开始紧急安抚。
“好了好了,大家别一副天塌下来的表情!”苏晨走到林宇面前,拍了拍他僵硬的肩膀。
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