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这话说得很客气,字面上挑不出任何毛病。
但落在史密斯的耳朵里每一个字都像是一个巴掌。
让阿斯麦的人来检验被他们远程锁定的机器有没有被第三方修好,这简直就是杀人诛心!
史密斯面无表情地接过五片晶圆,看都没看,直接递给了身旁的范德伯格和德容。
范德伯格和德容两人立刻从各自的工具箱里取出了便携式晶圆检测仪。
这种检测仪是阿斯麦专为现场应用工程师配备的高精度设备,可以对晶圆的线宽、套刻精度、缺陷密度等核心指标进行快速评估。
两人各自选了一片晶圆,就开始了仔细检测。
范德伯格检测的是四号机生产的晶圆。
德容检测的是五号机生产的晶圆,也就是那台三纳米的光刻机。
深吸一口气,她按下了扫描按钮。
检测仪的屏幕上,第一个线宽数据跳了出来2.98纳米!
德容的瞳孔猛地一缩。
三纳米制程的设计线宽标准是3纳米、
但实际生产中因为各种工艺误差的存在,做出来的线宽通常会在设计值的上下浮动。
只要误差控制在不超过1纳米范围以内就算是全球顶级水平!
而这片晶圆的线宽是2.98纳米,误差只有正负零点零二纳米。
比阿斯麦最新款EXE:5000量产版本的标准还要高一个数量级。
接下来是套刻精度是2.18纳米。
套刻精度是多层光刻工艺中衡量不同光刻层之间对准误差的核心指标。
对于三纳米制程来说,套刻精度的行业标杆值是3纳米以内。
阿斯麦EXE:5000的官方参数是2.5纳米。
而这片晶圆的套刻精度是2.18纳米,比阿斯麦最先进的旗舰型号还要高出百分之二十以上。
德容的手指开始发抖。
她看了一眼范德伯格,发现范德伯格正死死盯着他自己的屏幕,脸色和她一样苍白。
两人又对视了一眼,都没有说话。
但都在对方的眼睛里读到了同一个信息。
如果这件事如果传回荷兰总部的话,整个阿斯麦将会引发一场十级大地震!
史密斯注意到了两人的异常,眉头当即就皱了起来。
“到底怎么样?”
范德伯格艰难地抬起僵硬的脖子,喉结滚动了三四下才开口道。
“全部合格。”
那声音就像是被人掐着喉咙发出来的。
史密斯的眉头皱得更紧了。
他转头看向德容,希望从她那里得到一个不同的答案。
“良品率比我们高!”
德容嘴唇翕动了好几次,艰难的回应道。
史密斯的脸色彻底变了,无比难看,声音都变沙哑了。
“你说什么?”
“你知道你在说什么吗?啊!”
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