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“对了。”说完,江诚伸出手拍了拍徐光的肩膀:“当然,也包括你老徐,随时欢迎。”
江诚这话一出,一桌人瞬间笑作一团,就连一旁安静吃饭的邱易禾都忍不住的笑出了声。
旁人看着只当江诚纨绔爱开玩笑,只有徐光自己心里门清。
这人每一句玩笑,全都是带着目的在试探。
一顿轻松的午饭吃完,几人收拾好餐盘起身。
江诚开口说道:“那我现在就正式带你们到研发室看一下我们的样机。”
一行人跟着邱易禾,走向安保森严的无尘实验大楼。
大门口安检重重,身份核验、金属探测一道不落。众人按照流程进入更衣间,换上全套无尘服,头套、口罩、防静电鞋套一件都不能少,连头发丝都不许露在外面。
穿过双层风淋室,风呼呼吹过,吹掉身上全部浮尘,这才真正踏入光刻机研发车间。
偌大的恒温恒湿车间灯火通明,空气经过层层过滤,一尘不染。
四周排布着大量配套辅助设备:精密镀膜机、刻蚀配套单元、超高真空腔体、激光光源模块、高精度工件台,各类管线密密麻麻排布。
机柜指示灯忽明忽暗,技术人员穿着同款无尘服,安静地在各个工位上调试参数。
这一座基地大半年前才破土动工,短短时间之内,整套上下游配套就已经搭建完成。
徐光目光扫过四周,心里暗暗吃惊,光是这些外围配套,就要烧掉海量资金,不是普通企业玩得起的。
一路往里走,外围是零部件测试区,镜片检测工位正在对光学镜片做精度校验,巨大的检测仪器屏幕上跳动着密密麻麻的参数。
再穿过一道隔离玻璃,车间最中心,一台体量庞大的整机静静伫立在减震基座之上。
那就是他们此行要看的光刻机样机。
整机体型庞大,光学模组、光源系统、工件承载台层层组合,无数精密管线连接各个模块,整套设备被安置在特殊减震地基上。
隔绝地面微小震动,只要一丝抖动,就足以毁掉光刻精度。
走到玻璃隔离围栏外面,几人停下脚步,隔着防护玻璃看向这台凝聚无数心血的大家伙。
徐光眼神紧紧锁在样机身上,呼吸都放轻了几分。、
之前只听江诚口头说造出样机,心里一直半信半疑,今天亲眼见到实物,心脏不由得砰砰直跳。
他侧过头看向江诚,隔着口罩,声音略微有些闷。
“江总,样机实实在在摆在眼前,我不绕弯子。这台机器,现在可以做到多少纳米?”
江诚双手揣在无尘服口袋里,神色淡淡的,嘴角挂着一点似笑非笑,典型一副纨绔漫不经心的模样。
“你猜。”
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