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半导体研究所。
顾昭昭到的时候,吴建华已经在实验室门口等着了。
跟上回不一样,这回老头儿没端着架子。
远远瞅见那个背帆布包的瘦削身影拐过楼角,直接迎上来,脚步比秘书还快。
“顾总工,第三炉昨天下午出炉了。”
吴建华边走边说,语速比平时快了一截。
他推开实验室的铁门,侧身让顾昭昭先进。
实验室里灯管亮得刺眼。
长条工作枱上,十二片晶圆整整齐齐码在垫了绒布的铝托盘里。
吴建华的得意劲儿藏都藏不住。
三英寸的军品级砷化镓衬底。
搁三个月前,他做梦都不敢想能在自己手里拉出来。
顾昭昭没吭声。
她放下帆布包,从托盘里取出第一片晶圆,举到灯光底下。
转了半圈,搁下。
拿起第二片。
再搁下。
一片一片看过去,动作不快,但每一片停留的时间几乎一模一样。
吴建华站在旁边,心里头有点打鼓。
看到第九片的时候,顾昭昭停下了。
她把晶圆翻了个面,凑到灯管正底下,眯起眼。
然后搁下,拿起第十片。
同样的位置,同样翻面。
“显微镜。”
吴建华一愣,扭头冲旁边喊:“老周,把金相显微镜推过来!”
老周手脚麻利,三十秒不到,显微镜到位。
顾昭昭把第九片晶圆卡上载物台,调焦,低头看了十几秒。
换第十片。
又看了十几秒。
她直起身,退后一步。
“吴所长,你自己看,九号和十号,边缘区域,两点钟方向。”
吴建华三步并两步凑上去,低头贴上目镜。
五秒钟。
他的眉头拧成了疙瘩。
“微裂纹?”
“对。”
“宽度大约零点三微米,沿晶向延伸,长度不超过八十微米。”
吴建华直起腰,脸色有些挂不住。
他刚才明明检查过。
肉眼和常规检测都没查出毛病。
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