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单片晶圆试刻。
这六个字从林渊口中吐出的那一刻,总装车间里所有人的神经,一下子绷到了极致。
整机总装完成,空载联测跑了两个多小时零报错,这些固然振奋人心。
但在场的人都清楚,空载和实刻之间,隔着一道名为现实的天堑。
空载数据再完美,也只说明这台机器的骨架是好的,能动,能协同。
但光刻机的终极使命,是“刻”。
是把人类智慧凝结成的最精密图案,毫厘不差地蚀刻在那片脆弱的硅晶圆上。
刻不出来,一切归零。
林渊没有给任何人继续酝酿情绪的时间。
他转身,打开操作台旁一个银灰色的密封运输箱,用真空吸笔精准吸起一片8英寸的空白光刻晶圆。
硅片表面镀着一层均匀的光刻胶,在车间的冷白灯光下折射出淡淡的虹彩。
他托着晶圆,动作极稳,将其精准放入工件台的真空吸附卡盘上。
“嗒。”
一声轻响,吸附启动,晶圆被牢牢锁定。
随后,林渊的手指在操控终端上飞速敲击,没有丝毫犹豫,开始导入测试版图。
大屏幕上,一张密密麻麻的电路图案开始加载。
每一根线条的宽度和间距,都被控制在一个极其微小的尺度内,肉眼根本无法分辨其中的具体细节,只能看到一片规整的几何矩阵。
魏建成第一个凑了上来。
他盯着屏幕上那幅版图,瞳仁急剧收缩了一下。
“林总工。”
他的嗓音压得极低,粗重的呼吸在寂静的车间里,显得格外清晰。
“这套版图的线宽……是多少?”
他问出这句话时,贺一诚和杨林也下意识地向前一步,眼神凝重。
林渊头也未回,手指在操控台上完成最后的参数锁定,并淡然吐出三个字。
“十纳米。”
这句话,让在场的众人不禁呆愣住了。
十纳米!?
这根本不是一个简单的数字。
这代表的是当今全球半导体制造工艺金字塔最顶端的第一梯队。
放眼当今世界,能拿出10纳米精度测试版图的国家,一只手绰绰有余。
而这一只手里……没有夏国。
林渊没有给任何人继续震惊的余裕。
他最后确认了一遍所有参数,指尖悬在启动键上方一瞬,随即按了下去。
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