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当然现在他们也不在乎什么保修了。
机器都被远程锁了,还保个屁的修!
“老方,四号扭力扳手。”
陈砚舟头也不抬地喊了一声。
“啊,哦。”
方志远愣了一下,赶紧从工具袋里翻出四号扭力扳手递过去。
陈砚舟接过扳手,探进机器内部,手腕一转,一个藏在深处的螺栓被精准地松开了。
“老郑,把第三层左边第二个检测仪开机预热,等会儿校准晶圆台要用。”
郑国栋连忙蹲下身,按照陈砚舟的指示找到了那台造型奇特的检测仪,按下电源键。
仪器屏幕亮起,一串他看不太懂的参数界面跳了出来。
顾正刚也没闲着。
他被陈砚舟安排负责给拆下来的零件贴标签、分类摆放。
这是一个看似简单但实际上极其重要的工作,每一个零件都有自己唯一的位置和方向,哪怕是一个垫片装反了,都可能导致整台光刻机的精度下降几个数量级。
顾正刚干这个活干得格外仔细,恨不得给每一个螺丝都画上三维坐标。
一个上午的时间,在极度的忙碌和专注中飞快地流逝了。
当顾正刚直起酸痛的腰板,看了一眼墙上的时钟时,整个人都愣住了。
上午十一点四十二分。
不到四个小时,五台光刻机,全部被拆成了大小不一的零部件。
顾正刚擦了擦额头上的汗,看着眼前这片壮观的“战场”,忽然觉得自己的十五年从业经验像是一个笑话。
他带着团队花了三天时间都没找到故障原因,而这个年轻人,只用了不到四个小时,就把五台机器全部拆干净了。
且不说能不能装回去,单说这个拆解的速度和精度,就已经超出了他的认知范围。
方志远站在他旁边,手里还攥着那把四号扭力扳手,嘴唇翕动了半天,最后只蹦出来三个字。
“见鬼了。”
郑国栋推了推眼镜,蹲下身仔细检查了几个被拆下来的精密模块,“每个零件的拆解顺序都是最优解,没有任何一个多余的步骤。”
“如果让阿斯麦的原厂工程师来拆,按照标准操作流程,拆一台至少需要两天。他用了不到四个小时,拆了五台。”
说到这里,他站了起来补充了一句,“而且我没有看到他有任何一张图纸。”
三个人同时沉默了一秒,然后齐齐转头看向陈砚舟。
“喏,这就是那个坏的部件,你们都看看。”
陈砚舟走到零件矩阵的中央,捡起老化激光二极管,递给了顾正刚。
顾正刚半信半疑的接了过去,随即走到无影灯下仔细观察了起来,里面有明显的烧坏痕迹,但为了确认,他还是用测试设备进行了检查。
“还,还真是激光光源模块坏了。”
不等顾正刚开口,郑国栋便是下意识的开口道。
“是啊,我们维修部之前可是查找了三天,都没有查到。”
方志远接过了话茬,艰难的道,“甚至就连阿斯麦来的维修专家,他们都没有第一时间确定坏的位置,而陈工……哎,我们之前还怀疑他。”
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