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不是不会设计。
是我们的工业基础,根本加工不出来!
一块透镜差零点几个纳米,几十块叠在一起,误差累积,整套物镜系统直接报废。
“所以,我的研究方向不走这条路。”
林渊的话干脆到了极点。
“我研究的是——消色差超构透镜。”
消色差超构透镜?
这个概念并不算全新,学术圈里有零星的前沿论文讨论过。
但那些讨论,无一例外停留在最基础的理论探索阶段,离实际应用隔着十万八千里。
而林渊现在说的是,他要把这个东西,用在光刻机的物镜系统上。
精密仪器所的老所长把眼镜重新架回鼻梁上,嘴唇动了一下,但没出声。
他身旁那个中年骨干已经拿起了笔,手悬在笔记本上,却一个字都写不出来。
因为林渊根本没给他们反应的时间。
他直接翻篇了。
“再说双工件台。”
他的话头转得极快。
会议室里,自动化控制所的那个精瘦中年人,身子不由自主地前倾了半寸。
“传统的双工件台系统,用的是气浮轴承加线性电机驱动,位移测量靠激光干涉仪。”
“这套方案已经很成熟了,但也已经快碰到物理极限了。”
“定位精度要继续往下压,靠改良现有架构,很难。”
他说得很快,三两句把背景交代完,然后话锋一收。
“因此我对工件台提出的研究方向,是磁悬浮平面电机,配合原子干涉仪绝对定位。”
又是几个专有名词,干净利落地扔了出来。
自动化控制所那个精瘦的中年人,交叠在桌上的手臂松开了。
他整个人往前探了两寸,盯着林渊,眉头拧成了一个结。
磁悬浮平面电机他懂,国内有几个团队在做,但远没到能用在光刻机上的程度。
还有原子干涉仪绝对定位?
这东西他在国际顶刊上见过,去年一篇综述里提了一嘴,说“或可在未来十年内探索应用可能性”。
未来十年内探索应用可能性!
而这个年轻人,站在这里,用跟报菜名一样的口吻,说他已经在研究了?
会议室里的气氛已经不能用安静来形容了。
是闷。
一种所有人都被信息量压住、来不及消化、又不甘心就这么干坐着的闷。
“时间关系,具体的理论细节,我这里就不展开了。”
林渊再度环视了一圈会议室。
“一来,内容体量太大,展开讲一天也讲不完。”
“二来——”
他顿了顿,笑了一下。
那笑容里,带着一种洞悉一切的自信。
“我更希望各位前辈,能在看到理论资料后,自己去判断。”
“毕竟,我说得再天花乱坠,也不算数。”
他微微前倾身体,声音清晰地落在每一个人的耳中。
“各位亲眼见过之后,说好。”
“那,才是真的好。”
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