魔爪文学

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第74章 绿得让人心安（第3页）

研究员们不由自主地长长吐出一口气，紧绷的身体松弛下来，脸上涌出难以自控的狂喜。

但没有人敢在这时放声庆祝。

临门一脚前的任何松懈，对于这群与精密工程搏斗了一生的科研人来说，都是大忌。

而在这片压抑的喜悦中，唯有一人，脸上没有丝毫波澜。

林渊站在检测台前，视线在屏幕最后一组数据上停留片刻，随即抬手，关掉了扫描程序。

“很好。”

他说了两个字，转过身，面向屏息等待的众人。

“单片精度验证，通过。”

话音刚落，研究员们脸上的喜色再也抑制不住，有人已经开始用力攥紧拳头，手臂微微颤抖。

紧接着，林渊抬手竖起一根食指，在半空中轻轻晃了晃。

“那么接下来，只差最后一步了。”

最后一步。

魏建成三人齐齐点头，脸上刚刚浮出的喜色收了几分，重新换上绷紧的专注。

单片试刻通过，只证明这台光刻机精度够，能刻，且刻得准。

但它的商用价值，从来不在于“能不能刻好一片”。

而在于，它能不能稳定地、持续地、一片接一片地刻下去，并保证每一片的质量，都和第一片别无二致。

这，叫做批量一致性检测。

是整机验收的最后一关，也是最残酷的一关。

只有这一关跑通了，国产光刻机，才算真正意义上的，研发成功！

所有人都明白这个道理，无需多言。

就在众人准备迎接最后冲刺时，林渊已经重新走回了操作台。

他弯下腰，从台面下方拖出一个此前无人注意的军绿色大号密封运输箱，体积比刚才那个，足足大了三四倍。

“咔哒。”

锁扣弹开，箱盖掀起。

箱内，是一排排码放得整整齐齐的晶圆片盒。

每个片盒中，都静静叠放着二十五片8英寸空白光刻晶圆。

这个数量……

车间里，倒吸凉气的动静，密集得连成了一片。

“林总工……”

魏建成盯着那个大箱子，喉结滚了一下。

“你这是准备……批量测多少片？”

林渊先是从箱中取出一个片盒，动作从容地放入上料口，随即伸出一根手指，轻笑一声道。

“一百。”

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