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第1605章 去你们华芯国际看一看（第2页）

“吴院士，您好。”常浩南伸出手，语气平和而尊重。

吴明翰连忙结束与旁人的谈话，转过身，双手握住常浩南的手：“常院士！您好您好！没想到您也来参会了，刚才的议题……”他以为常浩南是来讨论大会内容。

常浩南微微一笑，开门见山，却又绕开了刚才大会的焦点：“吴院士，这次来，是想了解下华芯国际在更成熟制程方面的能力。”

这个说法实在有点太模棱两可，吴明翰用笔帽蹭了蹭头发：“具体是指……哪方面？”

会场内人多眼杂，再者栗亚波那边的试验也还没个结果，所以常浩南还不准备把自己的成果直接说出来。

而是换了个角度。

“我们火炬集团，连同火炬-C.B.法拉利公司，目前正在积极布局智能制造和工业物联网领域。”他提到了自己掌控的资源，“这一块对芯片的需求量巨大，而且跟传统的工控需求不同，这一块对产品性能的要求不亚于消费端。”

“不知道……华芯国际目前在48nm，以及更精细工艺节点的产能如何？是否能支撑大规模、高性价比的流片需求？”

吴明翰作为内行人，当然知道再怎么高精尖的工控需求也不太可能跟消费端一样，所以对方的提问大概率是醉翁之意不在酒。

因此比较委婉地回答道：

“常院士，智能制造和物联网这块，主要应该是48nm，或者更成熟的65nm、90nm节点，这些算是我们目前产能的主力，良率和稳定性经过多年打磨已经相当不错，成本也有竞争力，但是……”

他话锋一转，转向另一个角度：

“您说的‘更精细节点’，如果想通过NXT：1950i这样的深紫外设备制造，那就要结合离轴照明、相移掩模、还有多重曝光这些技术，去强行实现比理论极限更高的分辨率……技术上，我们确实在攻关，也取得了一些成果。”

常浩南也看出对方是会了意，于是追问：“量产能力和良率如何？”

吴明翰摇摇头，语气变得沉重起来：“理论上，曝光次数每翻一倍，分辨率就能增加一倍，但实际问题非常大……”

说到这里他略略加快脚步，和常浩南来到一个稍僻静的地方：

“一方面，这些技术本身极其复杂，工艺整合还不完全成熟，任何一个环节的波动都会导致失败。另一方面，多重曝光极大地增加了工艺步骤和套刻对准的次数，每一次对准都会引入微小的误差，累积起来，会导致芯片上特征尺寸的均匀性变差，关键尺寸偏差飙升……”

“总体来说，双重曝光可能可以实现比48nm更高的特征尺寸，但良品率和成本都不太容易控制，产能也就不可能提上去，至于四重曝光……”

吴明翰脸部肌肉抽动了一下：“理论性能几乎可以对标EUV，不过大概率连一片产品都流不出来。”

常浩南静静地听着，脸上没有任何惊讶或失望的表情，仿佛早已预料到这个答案。

他对吴明翰描述的困境不置可否，既没有追问细节，也没有表达看法。只是在吴明翰说完后。

只是沉默了几秒钟，然后提出了一个让吴明翰更加意外，却又隐隐觉得合情合理的请求：

“吴院士，您说的我明白了。技术攻关的艰难，我深有体会。”他停顿了一下，“不知是否方便……我想近期亲自去华芯国际的晶圆厂参观一下……不需要特别安排，就看看你们最真实的生产线和工艺现状。”

实际上，这个要求提的有些冒失。

华芯国际毕竟是个企业，常浩南手里也有企业，虽说不构成直接竞争，但你开口就要去最核心的地方看看，总归不太合适。

但吴明翰心中却念头飞转：常浩南院士突然对芯片制造产生了浓厚兴趣？而且是成熟制程？还要实地看生产线？

这绝对不仅仅是出于对智能制造芯片供应商的考察那么简单。

联想到火炬实验室那些前沿研究成果……

吴明翰的心脏不由得加速跳动了几下。

他隐隐感觉到，这次参观如果成行，或许会带来一些意想不到的转机。

“当然方便！”吴明翰冒着越俎代庖的风险应承下来，“我马上联系人安排！您看什么时候合适？我们全程配合！”

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