魔爪文学

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第1614章 如果上帝为我关上一扇窗那就直接把房顶掀了（第2页）

缓缓安放到支架的二号位上。

“咔哒”一声轻响磁性夹具稳稳吸合。

归位。

最后，撤掉保护套。

“准备记录。”张汝宁的声音沉稳有力，打破了实验室的寂静。

“启动干涉仪，光源波长设定为486.1nm（F线，氢蓝光），作为基准参考波长。”

何修军迅速接管控制台。

激光器发出晶莹的蓝光，通过分束镜，形成两束相干光路。

一束穿过三透镜系统，另一束作为参考。

干涉仪的光学平台发出细微的调整声。

几秒钟后，何修军紧盯着高分辨率显示屏上实时生成的干涉图样，

报告道：

“张工，条纹已调至零位！基准波长下，系统波前像差极小，状态完美！”

“好。”张汝宁的语气几乎没有波动，“开始扫描！波长从486.1nm（氢蓝线F）开始，逐步向短波方向推进。”

“明白！”

何修军打开早就编写好的测试程序，让激光器自行调整输出博创。

显示屏上，代表两束光干涉迭加形成的明暗条纹图样，随着波长变化而微微变化。

所有人的心都提到了嗓子眼。

435.84nm……（汞蓝线g）

404.66nm……（汞紫线h）

365.01nm……（汞紫外线i）

波长越来越短，逐渐逼近深紫外（DUV）区域。

这是传统光学材料色散急剧增大、像差最难控制的波段。

然而，屏幕上的干涉条纹，虽然随着波长的变化出现了些许拨动，但呈现出来的变化幅度却几乎是肉眼不可见的水平。

如果使用传统光学器件，那或许只有蔡司出手，才能做到类似的程度。

而且肯定需要一个巨大且复杂的透镜系统。

绝非三块镜片就能解决。

“太稳了……”一位长光的光学工程师忍不住低声惊叹。

栗亚波对这个结果早有预估，但真到了亲眼所见的时候，还是忍不住挂上了一抹笑容——

如果这个成果顺利投入应用，那么就连自己的院士头衔，都可以提上议事日程了。

正常情况下，一门双院士这种事，一般都是老师在哪个院，学生就在哪个院。

但他的老师同时身兼双院院士。

哎呀，到时候该怎么选呢？

真是个令人感到痛苦的抉择呢……

……

就在栗亚波已经忍不住想入非非的时候，何修军带着激动的声音传来：

“数据出来了！”

他恨不得把头塞进屏幕里：

“相比基准波长，系统波前的RMS值（均方根值）上升了……不到0.15！”

实际应用中，DUV光源的宽度很窄，不可能囊括从486.1nm到193nm这么宽的范围。

因此这个数值换算到光刻机上面，就已经是非常优秀的结果了。

身后的另一名工程师直接一哆嗦：

“这……这比我们之前任何一套全折射或折反式系统在这个波段的稳定性都要好得多！”

张汝宁紧抿着嘴唇，没有说话，但紧握的拳头微微松开，肩膀也耷拉下去不少。

不过，还不到可以彻底放松的时候。

电脑屏幕上，ArF波长下的干涉条纹依旧清晰可辨。

虽然比长波长时略粗了一些，但整体形态保持良好没有灾难性的崩溃。

“提取泽尔尼克系数，重点分析离焦项Z4！”

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