魔爪文学

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第281章 光学圣地（第2页）

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哈工大的周工插话：“机械部分问题也大。我们设计的工作台用蜗轮蜗杆传动，理论定位精度能达到微米级。但实际运行中，温度变化、振动、导轨磨损……各种因素叠加，重复定位精度就下来了。”

上海机床厂的刘工点头：“加工精度也有极限。我们厂能做蜗轮蜗杆，但齿形误差累积起来，传到工作台末端，误差就放大了。而且材料热处理后的尺寸稳定性，还需要改进。”

武水院的赵工接着说：“电力质量问题。我们测试过，所里电网电压波动能达到±o，频率也有漂移。对精密设备来说，这是致命的。”

王工叹了口气：“最头疼的是套刻误差，两次曝光对不准，图形就重叠不上。平均偏移微米，最大达到微米。这个误差对集成电路是致命的。”

吕辰认真听着，这些问题的根源他前世在书本上都读过：需要更稳定的光源、更精密的物镜设计、闭环反馈系统、更纯净的电力……但在年，这些技术要么不存在，要么刚刚萌芽。

“我们听说你们在‘掐丝珐琅’电路板方面取得了突破。”陈光远看向吕辰，“那种工艺对精度要求也很高。你们是怎么解决类似问题的？”

吕辰想了想：“陈副所长，我们的‘掐丝珐琅’工艺本质是‘以粗代精’。铜线直径o毫米左右，误差允许o毫米——靠熟练工人的手感就能达到。但光刻需要微米级精度，差了两个数量级。”

他顿了顿：“不过，我们在质量控制上的一些思路也许有借鉴意义。我们建立严格的工艺规范，每道工序都有明确的参数范围和检验标准。记录每一批产品的数据，分析波动规律，找出影响质量的关键因素。虽然‘精度’不高，但‘一致性’在逐步提升。”

陈光远若有所思：“数据积累、过程控制……工业化管理的路子。”

“是的。”吕辰点头，“精密技术不能只靠个别老师傅的手艺，必须把经验转化为可重复、可传授的工艺规范。哪怕一开始规范不完美，但只要有数据积累，就能不断优化。”

哈工大的周工眼睛一亮：“这个思路好！我们搞机械的，老师傅调导轨间隙，手感玄得很。要是能把‘手感’量化成数据……”

“我们也尝试过。”上海机床厂的刘工说，“但加工中的变量太多：刀具磨损、冷却液温度、材料批次差异……记录不过来。”

武水院的赵工笑道：“我们电网监测倒是一直在记录数据。电压、频率、谐波……积累了几年，确实找出了一些规律。比如每天下午两点，厂区大电机启动时，电压会骤降。我们就调整了供电方案。”

陈光远看向吕辰：“听说你在半导体所建议了‘光学记录装置’和‘模型实验’？”

吕辰一愣。

陈光远笑了：“王守方所长昨天给我打电话，把你那两个建议夸了一通。说你们走后，所里连夜开会决定尝试。他还让我转告，要谢谢你的建议。”

小间里的人都笑了起来。

“小吕你也要多给我们提主意。”陈光远语气温和：“年轻人敢想敢说，是好事。我们这些老家伙有时容易陷入思维定式。听听不同角度的声音，没准真能打开新思路。”

晚饭在轻松的技术交流中结束。

陈光远嘱咐三人好好休息，明天一早开始正式参观。

第二天清晨，起床铃响。

吕辰拉开窗帘，东方天际泛着鱼肚白，园区路灯还亮着，几个早起的人影已在主楼前走动。

早饭后，众人开始参观，第一站是光学加工车间。

推开厚重的隔音门，一股混合着冷却液、抛光粉和金属的气息扑面而来。

车间灯火通明，一排排抛光机轰鸣运转。

每台机器前站着工人，身穿深蓝色工装，专注地观察镜片与抛光模的接触，不时添加乳白色的抛光粉悬浮液。

“这是古典抛光法。”张工介绍，“工人靠手感控制压力、度和抛光时间，最终要让表面粗糙度达到纳米级。”

操作工人是个四十多岁的老师傅，眼神专注得像在雕琢艺术品，他双手轻扶抛光模边缘，通过细微调整控制抛光压力分布。

车间墙上贴着巨幅质量控制标准：

透镜中心偏差：不得大于o秒

面型精度：λo（λ=n）

表面粗糙度：ra≤n

这些数字背后是近乎苛刻的精度要求。

o秒的角度偏差，相当于在oo米距离上偏差不到o毫米；λo的面型精度，意味着镜片表面起伏不能过纳米——不到头丝直径的千分之一。

哈工大的周工，拿起一台振动测量仪贴在机架上。

他指着手持仪表的指针，对吕辰等人说道：“我们怀疑工作台定位精度不够，部分原因是抛光机振动传导。你看这读数，机器一开，基础振动就传到整个车间。虽然光刻机有隔振地基，但低频振动很难完全隔离。”

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陈光远叹气：“这是老问题了，厂里机床多，重型设备一开，地面都颤。我们抛光最怕这个，一震，镜片表面就出波纹。”

“想过主动隔振吗？”宋颜教授问。

“想过，但成本太高。”周工摇头，“一套气浮隔振平台，得进口，外汇批不下来。我们现在用橡胶垫加弹簧，效果有限。”

离开光学车间，下一站是装调实验室。

实验室里，几张庞大的花岗岩光学平台占据大部分空间。

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