魔爪文学

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第281章 光学圣地（第3页）

平台上，复杂的系统正在装调：激光器、透镜组、反射镜、分光棱镜……构成一条条精密光路。

科研人员趴在平台旁，眼睛紧贴自准直仪或显微镜目镜，一只手缓缓旋转微调旋钮。

动作轻柔得仿佛呼吸重一点都会影响精度。

一位位三十来岁的女科研人员在旁边记录着数据，上海机床厂的刘工拿把笔记本拿了起来，上面密密麻麻写满了数据：温度、湿度、调整步骤、检测结果……

刘工指了指笔记本：“受你昨天的启，我觉得应该系统记录。你看这位女同志，她调这个光谱仪系统已经三天了。我问她调了什么、为什么这么调，她只能说‘感觉’。这不行，经验必须能传递。”

女科研有些不好意思：“刘工说得对。我们光学装调，很多时候确实靠‘感觉’。看干涉条纹的形状，就知道哪里高了低了。但要说清楚为什么，难。”

“那就从记录开始。”陈光远强调，“每次装调，记录下所有可量化的参数：室温、湿度、每个调整螺丝转了多少度、调整前后的干涉条纹变化。时间长了，数据多了，也许能找出规律。”

第三站是精密机械车间。

车间里机床轰鸣，空气中弥漫着切削液的味道。

这里加工的是光刻机原型机的机械部件。

车间中央，一台大型龙门铣床的工作台上固定着光刻机工作台基座，老师傅正用千分表测量平面度。

武水院的赵工表情严肃：“昨天晚饭后，我测了所里几个点的电压，波动比想象中大。你们看这个插座，标称o伏，实测在o到o之间跳。频率也不稳，到o赫兹。”

“对光刻机影响大吗？”宋颜教授问。

“很大。”赵工说，“精密设备对电源质量极其敏感。电压波动会导致光源输出不稳定，曝光不均匀。频率漂移会影响同步电机转，进而影响工作台定位。更别说突的电压尖峰，可能直接烧毁控制电路。”

“所里没有稳压设备？”

“有，但老了，响应度慢。”赵工叹气，“而且整个所共用一台大稳压器，不同设备互相干扰。我建议每台精密设备配独立稳压电源，但成本太高，所里还在考虑。”

旁边工作台上，几个年轻技术员正在组装蜗轮蜗杆传动部件。

蜗轮齿面光滑如镜，蜗杆闪闪亮。

他们用汽油仔细清洗每一个零件，在放大镜下装配。

“间隙要调到微米以内。”一个技术员低声说，“太紧会卡死，太松回程误差大。”

“温度补偿算了吗？”同伴问。

“算了，按o度基准做的。实际运行会热，留了o微米膨胀余量。”

吕辰听着，心里点头。

这些考虑已触及精密机械的核心，不仅要静态精度，还要考虑动态运行中的温度、振动、磨损。

终于，他们来到此行的核心目标，第一代光刻机原型所在的实验室。

实验室保密等级更高，进入前要登记，交出笔记本，穿上白大褂和鞋套。

警戒线内，那台“大家伙”静静矗立。

它比想象中更大，整体像巨大的铁柜，长约两米，宽一米五，高约一人半。

暗灰色钢板外壳上有不少接线孔和观察窗。

机器上方伸出粗黑的电缆，连接墙上的配电柜。

旁边还有水冷机，水管蜿蜒连接到机器内部。

透过正面的厚玻璃观察窗，能看到内部结构：圆形的工作台，上方悬吊的镜筒，侧面的光源痕迹。

“整体结构半封闭。”陈光远介绍，“内部需保持洁净。操作时，把涂有感光胶的玻璃基板放工作台上，关门，抽真空或充氮气，然后曝光。”

张工拿来一块玻璃片放在显微镜下：“这是曝光测试结果。”

吕辰凑到目镜前。视野里是密密麻麻的线条图案，线宽约微米。但线条边缘不直，有微小波浪起伏；宽度不均匀；有些地方线条断了。

“微米线宽测试图形。”张工说，“问题很多：线条边缘粗糙，宽度波动o；局部断线；不同区域线条宽度差异——曝光不均匀导致的。”

王工指着另一块玻璃片：“这是两次曝光的结果，先刻水平线，再刻竖直线，理论上应形成完美网格。但你们看。”

吕辰再看，水平线和竖直线交叉形成网格，但交叉点不对齐，有的偏移，有的完全错开，网格歪歪扭扭。

“平均偏移微米，最大微米。”王工叹气，“这个误差对集成电路是致命的。”

陈光远总结：“工作台定位重复精度不够；温度变化导致热胀冷缩；振动干扰……很多问题理论上知道解决方案，但实际做起来，要材料、要工艺、要设备，更要时间和经验。”

实验室安静下来，只有原型机内部隐约的风扇声和水冷机运行声。

这是中国第一代光刻机雏形，粗糙、不稳定、精度有限，但它代表一种方向，一种从无到有的突破。

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