魔爪文学

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第320章 你的手比光刻机更不可替代（第1页）

华科院半导体研究所。

暗室亮着红色安全灯。

光影把所有东西都染成了血色。

吴建华站在光刻机旁。

两眼布满红血丝。

下巴冒出一片灰白胡茬。

他在这间屋子里熬了三天三夜。

第一批八百颗TR组件晶片的流片结果，全摊在工作枱上。

老周蹲在角落分拣。

合格的放左边，废的放右边。

左边的堆缓慢长高。

右边的堆长得更快。

“老吴，数出来了。”

老周直起腰，膝盖咔吧响了一声。

“合格六百零二颗。”

吴建华在脑子里盘算。

百分之七十五。

比顾总工预估的百分之八十，低了五个百分点。

“前三百颗没问题，良率在百分之八十三左右。”

老周翻开记录本。

“从第三百五十颗开始往下掉，越到后面废得越多。”

“最后一百颗，废了将近四成。”

吴建华沉着脸，走到光刻机前蹲下。

这台国产接触式光刻机是全所的宝贝。

机身的漆皮磕掉了好几块，露出底下的灰色铸铁。

他伸手摸向掩模版固定架的导轨。

导轨边缘有极细微的磨损。

“老周，你过来看。”

老周凑上前。

“导轨磨损了。”

“套刻对准每跑一批就会漂一点。”

“漂到后面，三微米的线宽容限根本兜不住。”

老周张了张嘴：“那……换导轨？”

“换个屁。”吴建华站起身，一巴掌拍在机器外壳上。

“全国就这么一台能干这活的光刻机，备件找谁去要？找老天爷？”

暗室里安静下来。

红色灯光拉长了吴建华的影子。

“打电话。”他说。

“打给谁？”

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