魔爪文学

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第320章 你的手比光刻机更不可替代（第2页）

“长空基地顾总工！”

……

吴建华大步走出去，抓起桌上的红色保密专线电话，要通了长空基地。

长空基地。

顾昭昭的办公室。

桌上的红色保密专线电话响了三声。

顾昭昭放下笔，拿起听筒。

“顾总工，我吴建华。”

“说。”

“第一批八百颗流完了，良率百分之七十五，没达标。”

听筒那头沉默了一秒。

“前段和后段的良率分别多少？”

吴建华报了数。

“光刻机连续作业多长时间了？”

“七十二小时。”

“暗室环境温度波动范围？”

吴建华顿了一下，转头冲老周喊：“温度记录仪拿来！”

老周扯下纸带念数据。

“最高二十三点八度，最低二十一点六度。”

“波动正负一度左右。”

吴建华对着话筒重复了一遍。

“光源用了多久没换？”

“这批灯管……”吴建华想了想，“装上去大概四百个小时。”

“掩模版的材质？”

“钠钙玻璃。”

话筒那头没声了。

吴建华握着听筒，手心出了汗。

电话线里传来极轻微的翻页声。

顾昭昭在翻她的笔记本。

“吴所长，三个问题。”

吴建华猛地挺直腰板。

“第一，你的暗室温控做到正负一度，对接触式光刻来说不够。”

吴建华捏紧了话筒。

“零点五微米的变形，叠加导轨的机械漂移，你的套刻误差直接翻倍。”

“后段的废片，至少有一半是这个原因。”

“第二，光源衰减。”

“四百小时的紫外灯管，输出强度至少下降了百分之十五。”

吴建华把听筒换到左手，右手摸起铅笔快速记录。

“解决办法——去找一台高精度的恒温机组，把暗室温控精度压到正负零点三度以内。”

“灯管立刻换新。”

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